超纯水系统是把水中的导电介质几乎完全去除，又把水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水，电阻率达到10MΩ.cm。控制系统可采用工控机程控控制，可实现自动起停，加药及冲洗，自动监测各种运行参数，可打印日报表和月报表，以便生产管理。
原水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器/阻垢剂添加装置→中间水箱→加压泵→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→二级反渗透机→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点
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